六氟化鎢
抖化學(xué) / 2022-10-13
六氟化鎢化學(xué)品安全技術(shù)說(shuō)明書(shū)
第一部分 化學(xué)品及企業(yè)標(biāo)識(shí)
化學(xué)品中文名：六氟化鎢
化學(xué)品英文名：tungsten hexafluoride；tungstenfluoride
企業(yè)名稱：西隴化工股份有限公司
生產(chǎn)企業(yè)地址：廣東省汕頭市潮汕路西隴中街1-3號(hào)
郵 編: 515064 傳 真: 0754-82481768
企業(yè)應(yīng)急電話：0598-7509639
電子郵件地址：339904316@qq.com
網(wǎng)站地址：http://yuehuifs.cn/
第二部分 成分/組成信息
√ 純品 混合物
有害物成分 濃度 CAS No.
六氟化鎢 7783-82-6
化學(xué)特性：六氟化鎢是一種無(wú)機(jī)化合物，化學(xué)式WF6，分子量297.84，為無(wú)色氣體或淡黃色液體，有強(qiáng)刺激性。有毒，其毒性與氟相似。溫度很低時(shí)呈白色固體。能溶于有機(jī)溶劑并產(chǎn)生特殊的顏色。遇水分解。在空氣中被潮氣分解而強(qiáng)烈冒煙，生成黃鎢酸或三氧化鎢?；瘜W(xué)性質(zhì)活潑。幾乎能和所有的金屬(除金和鉑)反應(yīng)。是一種強(qiáng)氟化劑，除鎳、蒙乃爾合金和不銹鋼外，在室溫下能使許多金屬氟化。在干燥狀態(tài)時(shí)對(duì)玻璃的腐蝕較弱，但在濕氣中能迅速反應(yīng)。與離子型鹵化物反應(yīng)可形成配位化合物，在高溫下可被氫還原為鎢。
產(chǎn)品用途：六氟化鎢是唯一能穩(wěn)定存在的鎢的氟化物，具有極強(qiáng)的腐蝕性，可根據(jù)外界環(huán)境的變化表現(xiàn)出靈活的物化性能，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域。六氟化鎢在電子工業(yè)中主要作為集成電路的配線材料使用，其在經(jīng)過(guò)化學(xué)氣相沉積工藝后可形成金屬鎢導(dǎo)體膜，鎢導(dǎo)體膜在集成電子學(xué)中通常被用作高傳導(dǎo)性的互連金屬、金屬層間的通孔和垂直接觸的接觸孔以及鋁和硅間的隔離層，因此被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成領(lǐng)域；另外，六氟化鎢還可以應(yīng)用于太陽(yáng)能吸收器以及X射線發(fā)射電極的制造、導(dǎo)電漿糊等電子元器原材料。
生產(chǎn)方法：由金屬鎢粉與元素氟直接反應(yīng)合成。
第三部分 危險(xiǎn)性概述
危險(xiǎn)性類(lèi)別：第2.3類(lèi) 有毒氣體
侵入途徑：吸入、食入
健康危害：六氟化鎢遇潮濕、空氣或水分解，散發(fā)出劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。本品可引起眼睛、皮膚和粘膜非常嚴(yán)重的灼傷。
環(huán)境危害：對(duì)環(huán)境有害。
燃爆危險(xiǎn)：不燃，無(wú)特殊燃爆特性。遇水產(chǎn)生有毒氣體。
第四部分 急救措施
皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用大量流動(dòng)清水沖洗20～30分鐘。如有不適感，就醫(yī)。
眼睛接觸：立即提起眼瞼，用大量流動(dòng)清水或生理鹽水徹底沖洗10～15分鐘。如有不適感，就醫(yī)。
吸 入：迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。呼吸、心跳停止，立即進(jìn)行心肺復(fù)蘇術(shù)。就醫(yī)。
食 入：用水漱口，給飲牛奶或蛋清。就醫(yī)。
第五部分 消防措施
危險(xiǎn)特性：能與許多物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。遇潮氣、空氣或水解, 放出有毒的腐蝕性氟化氫氣體。腐蝕性很強(qiáng), 能侵蝕幾乎所有的金屬, 能迅速腐蝕濕的玻璃。
有害燃燒產(chǎn)物：無(wú)意義。
滅火方法：迅速切斷氣源，然后根據(jù)著火原因選擇適當(dāng)滅火劑滅火。
滅火注意事項(xiàng)及措施：消防人員必須佩戴空氣呼吸器、穿全身防火防毒服，在上風(fēng)向滅火。盡可能將容器從火場(chǎng)移至空曠處。噴水保持火場(chǎng)容器冷卻，直至滅火結(jié)束。禁止用水、泡沫和酸堿滅火劑滅火。
第六部分 泄漏應(yīng)急處理
應(yīng)急行動(dòng)：根據(jù)氣體的影響區(qū)域劃定警戒區(qū)，無(wú)關(guān)人員從側(cè)風(fēng)、上風(fēng)向撤離至安全區(qū)。建議應(yīng)急處理人員穿內(nèi)置正壓自給式呼吸器的全封閉防化服。禁止接觸或跨越泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體通過(guò)下水道、通風(fēng)系統(tǒng)和密閉性空間擴(kuò)散。噴霧狀水抑制蒸氣或改變蒸氣云流向，避免水流接觸泄漏物。禁止用水直接沖擊泄漏物或泄漏源。隔離泄漏區(qū)直至氣體散盡。
第七部分 操作處置與儲(chǔ)存
操作注意事項(xiàng)：密閉操作，提供充分的局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴自吸過(guò)濾式防毒面具（全面罩），穿密閉型防毒服，戴橡膠手套。防止氣體或蒸氣泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與活性金屬粉末接觸。尤其要注意避免與水接觸。搬運(yùn)時(shí)戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈，防止鋼瓶碰撞、損壞。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的有毒氣體專(zhuān)用庫(kù)房。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。遠(yuǎn)離火種、熱源。保持容器密封。應(yīng)與活性金屬粉末等分開(kāi)存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
第八部分 接觸控制/個(gè)體防護(hù)
接觸限值：
MAC(mg/m3): - PC-TWA（mg/m3）: 2[按F計(jì)]
PC-STEL（mg/m3）: 5*[按F計(jì)] TLV-C(mg/m3): -
TLV-TWA(mg/m3): 2.5[按F計(jì)]；5[按W計(jì)] TLV-STEL(mg/m3): 10[按W計(jì)]
監(jiān)測(cè)方法：氟的測(cè)量方法：離子選擇性電極法；鎢的測(cè)量方法：硫氰酸鉀分光光度法。
工程控制：嚴(yán)加密閉，提供充分的局部排風(fēng)。
呼吸系統(tǒng)防護(hù)：可能接觸其蒸氣時(shí)，必須佩戴過(guò)濾式防毒面具(全面罩)。緊急事態(tài)搶救或撤離時(shí)，應(yīng)該佩戴空氣呼吸器。
眼睛防護(hù)：呼吸系統(tǒng)防護(hù)中已作防護(hù)。
身體防護(hù)：穿密閉型防毒服。
手 防 護(hù)：戴橡膠手套。
其他防護(hù)：工作完畢，淋浴更衣。定期體檢。
第九部分 理化特性
外觀與性狀：無(wú)色氣體或淺黃色液體或固體，固體為易潮解的白色結(jié)晶, 接觸潮濕空氣冒煙。
pH值: 無(wú)意義 熔點(diǎn)(℃): 2.5
沸點(diǎn)(℃): 17.5 相對(duì)密度(水=1): 3.44(15℃)
相對(duì)蒸氣密度(空氣=1): 無(wú)資料 臨界溫度(℃): 171
臨界壓力(MPa): 0.45 辛醇/水分配系數(shù): 無(wú)資料
閃點(diǎn)(℃): 無(wú)意義 引燃溫度(℃): 無(wú)意義
爆炸下限[％(V/V)]: 無(wú)意義 爆炸上限[％(V/V)]: 無(wú)意義
溶解性：溶于多數(shù)有機(jī)溶劑。
主要用途：六氟化鎢用于鎢的化學(xué)蒸鍍, 用作氟化劑。
第十部分 穩(wěn)定性和反應(yīng)性
穩(wěn)定性：穩(wěn)定
禁配物：水、活性金屬粉末。
避免接觸的條件：潮濕空氣。
聚合危害：不聚合
分解產(chǎn)物：氟化氫。
第十一部分 毒理學(xué)資料
急性毒性：
LD50：
LC50：
大鼠吸入LC50(mg/m3): 1430mg/m3
刺激性：
第十二部分 生態(tài)學(xué)資料
生態(tài)毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
其他有害作用：無(wú)資料。
第十三部分 廢棄處置
廢棄物性質(zhì)：危險(xiǎn)廢物
廢棄處置方法：根據(jù)國(guó)家和地方有關(guān)法規(guī)的要求處置?；蚺c廠商或制造商聯(lián)系，確定處置方法。
廢棄注意事項(xiàng)：處置前應(yīng)參閱國(guó)家和地方有關(guān)法規(guī)。
第十四部分 運(yùn)輸信息
危險(xiǎn)貨物編號(hào)：23025
UN編號(hào)：2196
包裝類(lèi)別：Ⅱ類(lèi)包裝
包裝標(biāo)志：有毒氣體；腐蝕品
包裝方法：鋼質(zhì)氣瓶。
運(yùn)輸注意事項(xiàng)：鐵路運(yùn)輸時(shí)應(yīng)嚴(yán)格按照鐵道部《危險(xiǎn)貨物運(yùn)輸規(guī)則》中的危險(xiǎn)貨物配裝表進(jìn)行配裝。采用剛瓶運(yùn)輸時(shí)必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應(yīng)將瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超過(guò)車(chē)輛的防護(hù)欄板，并用三角木墊卡牢，防止?jié)L動(dòng)。嚴(yán)禁與活性金屬粉末、食用化學(xué)品、等混裝混運(yùn)。夏季應(yīng)早晚運(yùn)輸，防止日光曝曬。公路運(yùn)輸時(shí)要按規(guī)定路線行駛，禁止在居民區(qū)和人口稠密區(qū)停留。鐵路運(yùn)輸時(shí)要禁止溜放。
第十五部分 法規(guī)信息
法規(guī)信息：下列法律法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)化學(xué)品的安全使用、儲(chǔ)存、運(yùn)輸、裝卸、分類(lèi)和標(biāo)志等方面均作了相應(yīng)的規(guī)定：
中華人民共和國(guó)安全生產(chǎn)法(2002年6月29日第九界全國(guó)人大常委會(huì)第二十八次會(huì)議通過(guò))；
中華人民共和國(guó)職業(yè)病防治法(2001年10月27日第九界全國(guó)人大常委會(huì)第二十四次會(huì)議通過(guò))；
中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法(1989年12月26日第七屆全國(guó)人大常委會(huì)第十一次會(huì)議通過(guò))；
危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例(2002年1月9日國(guó)務(wù)院第52次常務(wù)會(huì)議通過(guò))；
安全生產(chǎn)許可證條例(2004年1月7日國(guó)務(wù)院第34次常務(wù)會(huì)議通過(guò))；
常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類(lèi)及標(biāo)志(GB 13690-92)；
工作場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值(GBZ 2-2002)；
危險(xiǎn)化學(xué)品名錄；
高毒物品目錄。
第十六部分 其他信息
填表時(shí)間： 2022年10月13日
填表部門(mén)： 研發(fā)部
數(shù)據(jù)審核單位：
修改說(shuō)明： 暫無(wú)
![1-氯甲基-4-氟-1,4-二疊氮雙環(huán)[2.2.2]辛烷雙四氟硼酸鹽](images/202308/thumb_img/5130_thumb_G_1691916650431.jpg)
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